Entwicklung eines Modells für die Schichtbildung von stark kohlenstoffhaltigen, siliziumorganischen Plasmapolymeren
Veröffentlichungsdatum
2022-03-23
Autoren
Betreuer
Gutachter
Zusammenfassung
In der vorliegenden Arbeit geht es um die Erstellung eines Modells der Schichtabscheidung für Hexamethyldisiloxan basierte Plasmapolymere. Hierzu wurden umfangreiche Untersuchungen des Plasmaprozesses durchgeführt. Hierzu zählt sowohl eine elektrotechnische Untersuchung der verwendeten Niederdruckplasmakammer, als auch die Messung der Plasmadichte sowie des Plasmapotentials. Weiterhin wurden die abgeschiedenen Beschichtungen hinsichtlich ihrer chemischen Zusammensetzung sowie einiger physikalischer und technischer Eigenschaften untersucht.
Schlagwörter
Plasmapolymer
;
HMDSO
;
Schichtbildung
;
Plasmaparameter
;
Plasmasonde
Institution
Fachbereich
Dokumenttyp
Dissertation
Sprache
Deutsch
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Name
Promotionsarbeit_Thorben Brenner_SUUB_pdfA_1b.pdf
Description
Dissertation Thorben Brenner 2022
Size
33.53 MB
Format
Adobe PDF
Checksum
(MD5):aac4e0d6f9c788ee6d24152ded540c43