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Citation link: https://doi.org/10.26092/elib/1921
Promotionsarbeit_Thorben Brenner_SUUB_pdfA_1b.pdf
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Entwicklung eines Modells für die Schichtbildung von stark kohlenstoffhaltigen, siliziumorganischen Plasmapolymeren


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Promotionsarbeit_Thorben Brenner_SUUB_pdfA_1b.pdfDissertation Thorben Brenner 202234.33 MBAdobe PDFView/Open
Authors: Brenner, Thorben  
Supervisor: Vissing, Klaus 
1. Expert: Hartwig, Andreas  
Experts: Kersten, Holger 
Abstract: 
In der vorliegenden Arbeit geht es um die Erstellung eines Modells der Schichtabscheidung für Hexamethyldisiloxan basierte Plasmapolymere. Hierzu wurden umfangreiche Untersuchungen des Plasmaprozesses durchgeführt. Hierzu zählt sowohl eine elektrotechnische Untersuchung der verwendeten Niederdruckplasmakammer, als auch die Messung der Plasmadichte sowie des Plasmapotentials. Weiterhin wurden die abgeschiedenen Beschichtungen hinsichtlich ihrer chemischen Zusammensetzung sowie einiger physikalischer und technischer Eigenschaften untersucht.
Keywords: Plasmapolymer; HMDSO; Schichtbildung; Plasmaparameter; Plasmasonde
Issue Date: 23-Mar-2022
Type: Dissertation
DOI: 10.26092/elib/1921
URN: urn:nbn:de:gbv:46-elib63598
Institution: Universität Bremen 
Faculty: Fachbereich 02: Biologie/Chemie (FB 02) 
Appears in Collections:Dissertationen

  

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